Elipsómetros

La elipsometría espectroscópica es una técnica óptica no destructiva, sin contacto y no invasiva que se basa en el cambio en el estado de polarización de la luz cuando se refleja oblicuamente en una muestra de película delgada. La elipsometría utiliza un enfoque basado en modelos para determinar los espesores de película delgada, la interfaz y la rugosidad de la superficie, así como las propiedades ópticas (y mucho más) para películas delgadas que varían en espesor desde unas pocas Amstrong hasta varias decenas de micrones. 

Además, la elipsometría espectroscópica se puede realizar ex situ o in situ, en modo estático o cinético, para diversas necesidades de aplicación.