Smart SE
El elipsómetro Smart SE es una herramienta de investigación y desarrollo de películas delgadas
El Smart SE de HORIBA Scientific es un elipsómetro espectroscópico versátil para mediciones rápidas y precisas de películas delgadas. Caracteriza el espesor de la película desde unos pocos Angstroms hasta 20 µm, las constantes ópticas (n, k) y las propiedades de la estructura de la película delgada (como rugosidad, capas graduadas ópticamente y anisotrópicas, etc.).
El rango espectral de 450 a 1000 nm se mide en unos pocos segundos y los datos elipsométricos se analizan utilizando la plataforma de software DeltaPsi2. El software integra dos niveles de software para realizar análisis de rutina con recetas predefinidas y análisis avanzados con modelado elipsométrico de última generación.
El elipsómetro Smart SE es una herramienta de investigación y desarrollo de películas delgadas rentable que no compromete las funciones y ofrece un rendimiento de grado de investigación a un precio económico. Proporciona un sistema de visión integrado para un posicionamiento preciso del punto, siete micropuntos automatizados con tamaños que varían hasta unas pocas decenas de micrones para medir características pequeñas y la capacidad de medir la matriz Mueller completa de 16 elementos en solo unos segundos para el estudio de muestras complejas.
El diseño flexible del Smart SE permite la automatización completa de la etapa de muestra y el goniómetro, así como el uso in situ en cámaras de proceso. Se adapta a cualquier aplicación o presupuesto para una amplia variedad de áreas de aplicación, incluidas microelectrónica, fotovoltaica, pantallas, recubrimientos ópticos, tratamientos de superficies y compuestos orgánicos.
- Especificaciones: Rango espectral 450 nm a 1000 nm Resolución espectral 3 nm Fuente de luz combinación de halógeno y LED azul Tiempo de medición menos de 1 segundo hasta 10 segundos Tamaño de haz 75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm Ángulo de incidencia 45° a 90° en intervalos de 5° Tamaño de muestra hasta 200 mm Alineamiento de muestra Ajuste manual de altura e inclinación de 17 mm Dimensiones 100cm * 46cm * 23cm (Largo*Alto*Profundo) Opciones Etapas de calentamiento y enfriamiento Celdas líquidas y electroquímicas Sistema de autocolimación cruzada
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Ficha Técnica
| Marca | |
|---|---|
| Aplicaciones | |
| Industrias | Construcción y minería, Energía, Investigación I+D y Biotecnología |
| Especificaciones | Rango espectral 450 nm a 1000 nm Resolución espectral 3 nm Fuente de luz combinación de halógeno y LED azul Tiempo de medición menos de 1 segundo hasta 10 segundos Tamaño de haz 75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm Ángulo de incidencia 45° a 90° en intervalos de 5° Tamaño de muestra hasta 200 mm Alineamiento de muestra Ajuste manual de altura e inclinación de 17 mm Dimensiones 100cm * 46cm * 23cm (Largo*Alto*Profundo) Opciones Etapas de calentamiento y enfriamiento Celdas líquidas y electroquímicas Sistema de autocolimación cruzada |
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